VALIDASI METODE KALIBRASI CHECK MASTER BERBASIS INTERFEROMETER DENGAN MENGAPLIKASIKAN KOMPENSASI PASIF PADA KESALAHAN GERAK ANGULARNYA

Okasatria Novyanto, Asep Ridwan Nugraha, Ardi Rahman, Nurul Alfiyati, Muhammad Azzumar, Asep Hapiddin, Eka Pratiwi, Ocka Hedrony, Gigin Ginanjar, Rina Yuniarty, Istiqomah Istiqomah, Nurlathifah Nurlathifah, Rudi Anggoro Samodro, Agustinus Praba Drijarkara

Abstract


Kesalahan Abbe merupakan salah satu faktor yang mempengaruhi kualitas hasil pengukuran check master. Kesalahan geometri ini dapat direduksi dengan cara melakukan kompensasi, baik secara aktif maupun pasif. Pada penelitian ini, heterodyne laser interferometer dari pabrikan Agilent Technology digunakan sebagai standar. Laser tersebut dikombinasikan dengan mesin pengukur dari pabrikan SIP sebagai wahana bergeraknya. Untuk meningkatkan akurasi pengukuran, nilai refraktif indek udara dan kompensasi temperatur dikalkulasi ulang, terpisah dengan perangkat lunak pabrikan laser interferometer. Selain itu, kesalahan Abbe juga direduksi secara pasif dengan melakukan kalkulasi nilai yaw dan jarak offset. Hasil pengukuran ini divalidasi dengan nilai yang diperoleh Lembaga Metrologi Nasional negara lain dan dianalisis dengan menggunakan metode statistik nilai En. Hasil perbandingan menunjukkan bahwa untuk rentang 10 s.d. 40 mm terdapat beberapa nilai yang tidak memenuhi kriteria angka En, sedangkan untuk rentang pengukuran 50 s.d. 400 mm berada pada rentang nilai yang memenuhi kriteria angka En dengan nilai terbesar 0,93 dan terkecil 0,02. Secara umum hal ini menunjukkan bahwa metode kalibrasi check master berbasis interferometer dengan mengaplikasikan kompensasi pasif pada kesalahan gerak angularnya telah divalidasi.

Keywords


error mapping, edlen’s formula, step gauges, refraktif indek udara

Full Text:

PDF

References


Birch, K. P., & Downs, M. J. (1994). Correction to the Updated Edlén Equation for the Refractive Index of Air. Metrologia, 31(4), 315–316.

Byman, V., Jaakkola, T., Palosuo, I., & Lassila, A. (2018). High accuracy step gauge interferometer. Measurement Science and Technology, 29(5). https://doi.org/10.1088/1361-6501/aaad32

Ega, A. V., Ginanjar, G., Novyanto, O., & Suryani, D. (2020). Studi Metode Kalibrasi Tekanan Statis Sfigmomanometer Non-Invasif Otomatis Yang Tertelusur Terhadap Standar Tekanan Pneumatik. Instrumentasi, 44(2), 183–196. https://doi.org/10.31153/instrumentasi.v44i2.209

Eka, N. T., Novyanto, O., Nelfyenny, & Nugraha, A. R. (2015). Menakar Peluang Perkembangan Nanometrologi di Indonesia. In PPI KIM Ke-41 (pp. 41–51).

Eom, T. B., & Han, J. W. (2001). A precision length measuring system for a variety of linear artefacts. Measurement Science and Technology, 12(6), 698–701.

Hapiddin, A., Yulita Ika, P., Boynawan, A. M., Ratnaningsih, Agmal, S., & Novyanto, O. (2020). Beat frequency measurement of the stabilized He-Ne laser 633 nm calibration in SNSU-BSN. Journal of Physics: Conference Series, 1528(1). https://doi.org/10.1088/1742-6596/1528/1/012003

Hemming, B., Esala, V., Laukkanen, P., Rantanen, A., & Viitala, R. (2018). Interferometric step gauge for CMM verification. Measurement Science and Technology, 29, 1–6.

International Organization for Standardization. (2009). Geometrical product specifications (GPS)-Acceptance and reverification test for coordinate measuring machine (CMM). In ISO 10360-2 (Vol. 3, p. 13).

Kim, J., Kim, J. W., Kang, C., & Jin, J. (2011). An interferometric calibration system for various linear artefacts using active compensation of angular motion errors. Measurement Science and Technology, 22, 1–10. https://doi.org/10.1088/0957-0233/22/7/075304

Merzouki, R., Medjaher, K., Djeziri, M. A., & Ould-Bouamama, B. (2007). Backlash Fault Detection in Mechatronic System. Mechatronics, 17(6), 299–310.

https://doi.org/10.1016/j.mechatronics.2007.03.001

Novyanto, O., & Alfiyati, N. (2020). Measurement optimization of high accuracy check master based on interferometry method in National Standardization Agency of Indonesia: A preliminary study for measuring range of 10 mm to 400 mm. In Journal of Physics: Conference Series (Vol. 1568). https://doi.org/10.1088/1742-6596/1568/1/012012

Novyanto, O, & Alfiyati, N. (2016). An Approach Method to Calibrate the Autocollimator with Small Angle Measurement Range. MAPAN-Journal of Metrology Society of India, 31(March), 9–15. https://doi.org/10.1007/s12647-015-0153-1

Novyanto, Okasatria. (2012). Kalibrasi Balok Sudut Non-Reflektor dengan Metode Kontak Menggunakan Analisa Matematik Regresi Linier Sederhana. In PPI KIM Ke-38 (pp. 248–260).

Novyanto, Okasatria, & Pratiwi, E. (2015). A Preliminary Study to Evaluate The Topography of Narrow Surface Plate. Instrumentasi, 39(1), 1–8.

Nugraha, A. R., Novyanto, O., & Alfiyati, N. (2014). Metode pengukuran penyimpangan balok sudut menggunakan autocollimator dan self-calibration rotary encoder. Instrumentasi, 38(2), 11–22. https://doi.org/10.14203/instrumentasi.v38i2.69

Osawa, S., Takatsuji, T., & Kurosawa, T. (2003). Step-Gauge Calibration Using An Interferometric Coordinate Measuring Machine and the Uncertainty. In IMEKO World Congress (pp. 1911–1914).

Pratiwi E, Novyanto O, & Y Prihhapso. (2012). Reduksi Efek Slope Dengan Metode End Point Fit Pada Set Up Alignment Menggunakan Laser Interferometer. In PPI KIM Ke-38 (pp. 504–511).

Rahman, A., Nugraha, A. R., Novyanto, O., Alfiyati, N., Sidik, A., & Idris, I. (2019). Design and Characterization of Spin Coater to Support National Semiconductor Industry. Standardisasi, 21(3), 183–192. https://doi.org/10.31153/js.v21i3.761

Rahman, A., Pratiwi, E., Novyanto, O., Alfiyati, N., & Hedrony, O. (2020). Optimization of linear transducer calibration system using laser interferometer based on the Abbe principle. In IOP Conference Series: Materials Science and Engineering (p. 012049). https://doi.org/10.1088/1757-899X/980/1/012049




DOI: http://dx.doi.org/10.31153/instrumentasi.v45i1.251

Copyright (c) 2021 Instrumentasi

Creative Commons License
This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.

Copyright &copy 2015 Jurnal Instrumentasi (p-ISSN: 0125-9202, e-ISSN:2460-1462). All Rights Reserved.



Creative Commons License
This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.